石墨油槽：耐腐耐高温，特殊工况的专用润滑容器

　　石墨槽舟是一种带有凹槽结构的专用石墨治具，以高纯人造石墨为原料，经等静压成型、高温石墨化、精密机加工制成，核心用于半导体硅片、晶圆、芯片等部件的承载、定位和高温加工，广泛应用于半导体光刻、蚀刻、烧结等关键工序，凭借其高精度、耐高温、无污染的优势，成为半导体加工的核心辅助装备。

　　石墨槽舟的核心优势是精密定位、耐高温、适配性强。其凹槽尺寸、间距精准，误差控制在±0.001mm，可精准承载、定位硅片、晶圆，避免加工过程中出现偏移、晃动，确保加工精度；原料纯度高，无金属杂质，不会污染半导体部件，适配半导体洁净加工要求；耐高温性能优异，可在800-1200℃的高温加工环境下长期稳定运行，无变形、无损耗，且导热均匀，能确保半导体部件受热均匀，提升加工良率。

　　根据半导体部件的规格，石墨槽舟可定制不同的凹槽数量、尺寸和间距，适配8英寸、12英寸等主流规格的硅片、晶圆。在半导体光刻工序中，用于承载硅片，确保光刻图案的精准度；在蚀刻、烧结工序中，用于定位芯片，保障加工过程的稳定性。随着半导体行业向高密度、高精度方向发展，石墨槽舟的精度和适配性要求不断提高，其生产工艺也在持续优化，成为半导体精密加工不可或缺的专用治具。