V型石墨舟皿性能强化工艺

V型石墨舟皿功用强化工艺：提高极端环境适应性

高温纯化

在2800℃氩气环境中处理48小时，铲除残留杂质（如金属离子、硫元素），确保资料纯度≥99.99%，满意半导体级洁净度要求。

抗氧化涂层

涂覆SiC/Si2N2复合涂层，使氧化失重率降低90%，延伸舟皿使用寿命至150次以上烧结循环（传统石墨仅50次）。

预烧处理

模仿实践工况进行50次冷热循环（-196℃至800℃）预处理，消除资料内部剩余应力，提高抗热震功用。

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