石墨舟皿介绍

石墨舟皿（也常简称石墨舟），是以高纯等静压石墨为原料，经CNC精细加工制成的舟形高温承载工装，多用于真空、惰性维护气氛炉内，承载工件完成高温烧结、退火、CVD/PVD 镀膜、脱胶等热处理工序。

核心特色

1. 耐高温：真空/维护气氛下可长期运用至2000℃以上，最高可达2500℃，高温不软化、不熔融。

2. 导热均匀、低热膨胀：导热快，工件受热一致性好；热膨胀系数小，重复升降温尺寸稳定，削减产品翘曲变形。

3. 抗热震性能好：耐急冷急热，冷热循环不易开裂，合适接连式炉量产。

4. 化学惰性高：高纯石墨杂质极低，高温下不与大都金属、陶瓷、半导体材料反响，不会污染工件；注意：空气环境下高于 500℃会氧化，必须真空或氮气/氩气维护。

5. 易精细加工：可开槽、多孔、多层、定位止口、排气槽等复杂结构，非标定制能力强。

6. 导电：具有良好导电性，适配PECVD等需求导电的镀膜工艺。

常见结构类型

槽型舟皿（W型槽）：硬质合金长条、薄片、电子陶瓷烧结，槽带排气通道，方便脱胶，防工件粘连翘曲抖音百科。

平板/平底舟：粉末、粉料、小型零件烧结。

多片插槽舟：光伏硅片、半导体晶圆（PECVD 石墨舟），单片分立卡槽，装载量大。

多层组合舟：叠片式，提高炉膛空间利用率。

运用行业

光伏：硅片 PECVD 镀膜

半导体：碳化硅、蓝宝石晶圆退火、分散

粉末冶金：硬质合金、金属粉末真空烧结、脱胶

电子陶瓷：介质陶瓷、压电陶瓷高温烧结

新能源：锂电正极 / 负极材料煅烧

钎焊：真空钎焊工件承载

科研实验室：高温材料实验


运用注意事项

1. 禁止在空气高温下运用，超越 500℃石墨会氧化烧损，缩短寿命。

2. 外表可做抗氧化浸渍、陶瓷涂层，提高运用寿命，但涂层版别不能用于部分半导体高纯工艺。

3. 避免剧烈磕碰，石墨原料脆性大；长期运用外表会轻微掉粉，高纯场景需定期清洁。

4. 装载结构要预留排气通道，方便粘结剂、气体排出，防止鼓包、产品缺陷。

和陶瓷舟、金属舟比照扼要

陶瓷舟：抗热震差，高温易裂，加工贵；

金属舟：高温易软化，存在金属杂质污染危险；

石墨舟：抗热震强、导热好、可精细加工，真空/维护气氛首选高温载具，缺陷是有氧环境易氧化。

想要了解更多石墨舟皿的内容，可联系从事石墨舟皿多年，产品经验丰富的滑小姐：13500098659。