石墨舟皿常见结构类型

石墨舟皿常见结构类型

槽型舟皿（W型槽）：硬质合金长条、薄片、电子陶瓷烧结，槽带排气通道，方便脱胶，防工件粘连翘曲抖音百科。

平板/平底舟：粉末、粉料、小型零件烧结。

多片插槽舟：光伏硅片、半导体晶圆（PECVD 石墨舟），单片分立卡槽，装载量大。

多层组合舟：叠片式，提高炉膛空间利用率。

应用行业

光伏：硅片 PECVD 镀膜

半导体：碳化硅、蓝宝石晶圆退火、扩散

粉末冶金：硬质合金、金属粉末真空烧结、脱胶

电子陶瓷：介质陶瓷、压电陶瓷高温烧结

新能源：锂电正极 / 负极资料煅烧

钎焊：真空钎焊工件承载

科研实验室：高温资料实验

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