石墨舟皿
石墨舟皿（也常简称石墨舟），是以高纯等静压石墨为材料，经CNC精密加工制成的舟形高温承载工装，多用于真空、慵懒保护气氛炉内，承载工件完毕高温烧结、退火、CVD/PVD 镀膜、脱胶等热处理工序。
中心特征
1. 耐高温：真空/保护气氛下可长期运用至2000℃以上，最高可达2500℃，高温不软化、不熔融。
2. 导热均匀、低热膨胀：导热快，工件受热一致性好；热膨胀系数小，重复升降温标准安稳，减少产品翘曲变形。
3. 抗热震性能好：耐急冷急热，冷热循环不易开裂，适宜接连式炉量产。
4. 化学慵懒高：高纯石墨杂质极低，高温下不与大都金属、陶瓷、半导体材料反应，不会污染工件；留神：空气环境下高于 500℃会氧化，有必要真空或氮气/氩气保护。
5. 易精密加工：可开槽、多孔、多层、定位止口、排气槽等杂乱结构，非标定制能力强。
6. 导电：具有杰出导电性，适配PECVD等需求导电的镀膜工艺。
常见结构类型
槽型舟皿（W型槽）：硬质合金长条、薄片、电子陶瓷烧结，槽带排气通道，方便脱胶，防工件粘连翘曲抖音百科。
平板/平底舟：粉末、粉料、小型零件烧结。
多片插槽舟：光伏硅片、半导体晶圆（PECVD 石墨舟），单片分立卡槽，装载量大。
多层组合舟：叠片式，进步炉膛空间利用率。
光伏：硅片 PECVD 镀膜
半导体：碳化硅、蓝宝石晶圆退火、松懈
粉末冶金：硬质合金、金属粉末真空烧结、脱胶
电子陶瓷：介质陶瓷、压电陶瓷高温烧结
新能源：锂电正极 / 负极材料煅烧
钎焊：真空钎焊工件承载
科研试验室：高温材料试验
运用留神事项
1. 禁止在空气高温下运用，逾越 500℃石墨会氧化烧损，缩短寿数。
2. 表面可做抗氧化浸渍、陶瓷涂层，进步运用寿数，但涂层版别不能用于部分半导体高纯工艺。
3. 避免剧烈磕碰，石墨材料脆性大；长期运用表面会细微掉粉，高纯场景需守时清洁。
4. 装载结构要预留排气通道，方便粘结剂、气体排出，避免鼓包、产品缺点。
和陶瓷舟、金属舟比照简明
陶瓷舟：抗热震差，高温易裂，加工贵；
金属舟：高温易软化，存在金属杂质污染风险；
石墨舟：抗热震强、导热好、可精密加工，真空/保护气氛首选高温载具，缺点是有氧环境易氧化。
