石墨舟皿
石墨舟皿核心特色
1. 耐高温：真空/维护气氛下可长期使用至2000℃以上，最高可达2500℃，高温不软化、不熔融。
2. 导热均匀、低热胀大：导热快，工件受热一致性好；热胀大系数小，重复升降温尺度稳定，减少产品翘曲变形。
3. 抗热震性能好：耐急冷急热，冷热循环不易开裂，适合接连式炉量产。
4. 化学慵懒高：高纯石墨杂质极低，高温下不与大都金属、陶瓷、半导体资料反响，不会污染工件；注意：空气环境下高于 500℃会氧化，必须真空或氮气/氩气维护。
5. 易精细加工：可开槽、多孔、多层、定位止口、排气槽等杂乱结构，非标定制能力强。
6. 导电：具备良好导电性，适配PECVD等需求导电的镀膜工艺。
