石墨舟皿


槽型舟皿(W型槽):硬质合金长条、薄片、电子陶瓷烧结,槽带排气通道,方便脱胶,防工件粘连翘曲抖音百科。

平板/平底舟:粉末、粉料、小型零件烧结。

多片插槽舟:光伏硅片、半导体晶圆(PECVD 石墨舟),单片分立卡槽,装载量大。

多层组合舟:叠片式,提升炉膛空间利用率。

石墨舟皿

使用职业

光伏:硅片 PECVD 镀膜

半导体:碳化硅、蓝宝石晶圆退火、扩散
粉末冶金:硬质合金、金属粉末真空烧结、脱胶

电子陶瓷:介质陶瓷、压电陶瓷高温烧结
新能源:锂电正极 / 负极材料煅烧
钎焊:真空钎焊工件承载
科研试验室:高温材料试验

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